电子厂生产行业废气排放污染主要出现在元气组件焊接和线路板表面处理等过程中产生的。电子行业废气主要为有机废气和酸碱废气两类。有机类有:非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等;酸碱类有:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物等。这些化学药剂在使用过程中容易挥发,容易对大气造成污染,同时也会容易造成周围群众慢性中毒,甚至急性中毒。
电子工业从产品产业链划分,自上而下分为电子整机产品、电子基础产品和电子专用材料三个层次。其中涵盖:电子专用材料、半导体器件、电子元件及印制电路板、光电器件和电子终端产品等5个方面。
电子工业是VOCs排放的主要行业之一,电子工业废气VOCs排放种类多,组分复杂。
一般来说,废气排放中风量较大,VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放流量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppmv)的特点。
为减少VOCs有机废气的排放,建议使用使用环保型材料,推进落后传统工艺的升级换代,使用低挥发原材料,改善生产操作条件以减少无组织逸散,采用新工艺以减少有机溶剂用量,从源头控制VOCs排放。
如电路板采用免清洗工艺,推广使用免清洗助焊剂等。电子终端产品表面涂装喷漆生产作业由传统的空气喷漆工艺为静电喷漆工艺取代,以二甲苯等挥发性有机物为主溶剂的油漆涂料将遂渐淘汰,使用不含有机溶剂或低含量有机溶剂涂料。
表面涂装推行粉末涂装工艺,替代油漆涂装工艺,粉末涂装工艺的应用得到迅速发展。
电子厂排放VOCs废气中含有:酸碱废气、有机废气;废气处理设备可以采用前段酸碱喷淋洗涤塔中和酸碱废气,喷淋塔后段采用活性炭吸附箱吸附有机废气,然后烟囱排放达标。
酸碱喷淋洗涤塔:气液逆流中和酸碱废气,通过有组织或者是无组织废气收集设备,然后经过通风管道,电子厂排放的废气在经过酸碱喷淋洗涤塔人,酸碱废气与中和药水进行气液两相充分接触吸收中和反应,废气经过净化后,再经除雾板脱水除雾,吸收液在塔底经水泵增压后在塔顶喷淋而下,回流到塔底循环使用。
酸碱喷淋洗涤塔性能特点:
采用填料塔对废气进行净化,适合于连续和间排放废气的治理;
工艺简单,管理方便、操作及维修相当方便简洁,不会对车间的生产造成影响;适用范围广,可同时净化多种废气污染和粉尘;
压降较低,操作弹性大,且具有很好的除雾性能;
塔体可根据实际情况采用PP/玻璃钢等材料制作;
填料采用高效、低阻的多面球或者后西环,有效去除气体中的异味、有害物质等
在经过酸碱喷淋洗涤塔中和之后,有机废气再次经过活性炭吸附箱,吸附法利用多孔性固体吸附剂处理混合气体,吸附剂选择性高,活性炭属非极性吸附剂,对非极性化合物有较强的吸附能力,一般可净化低浓度VOCs,净化效率可达到90%以上,活性炭吸附箱内的填料活性炭有效吸附有机废气之后,达标排放。